扫描电子显微镜可用于确定材料的性质和元素组成，用以研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征。能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用，可用于高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。